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堿拋上下料設(shè)備

多年來，二所立足自主裝備，與產(chǎn)業(yè)融合，形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統(tǒng)集成的能力。

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產(chǎn)品描述
詳細(xì)參數(shù)

用于光伏電池堿拋及去BSG/PSG工序。硅片從工藝主機流出，傳輸至自動化內(nèi)裝滿花籃，并實現(xiàn)與AGV的對接。設(shè)備運行穩(wěn)定可靠，整合高效，人機交互簡單方便。
硅片尺寸： 182-230mm（方片及半片）

硅片厚度： 120-200µm

產(chǎn)能：12道≥16000Pcs/H ，10道≥13000Pcs/H，半片≥32000Pcs/H

碎片率：182尺寸≤0.02%；220尺寸≤0.03%

不良比例：1、錯槽、雙片不可有；2、PL與EL不良之和≤0.02%

插片整齊度：偏差≤2mm

兼容花籃： 182：240×250×700mm或230：272×272×700mm

高精度機器人搬送花籃

碎片率≤0.01% Uptime≥99%；

中國電子科技集團公司第二研究所成立于1962年，是我國以智能制造、微電子裝備及應(yīng)用、碳化硅裝備及應(yīng)用、新能源裝備及應(yīng)用等產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)的骨干單位。多年來，二所立足自主裝備，與產(chǎn)業(yè)融合，形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統(tǒng)集成的能力。

二所是科技部“國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（山西）”、科技部“國家科技合作基地”、工信部“智能制造試點示范”、國防科工局“軍用微組裝技術(shù)創(chuàng)新中心”、山西省“寬禁帶半導(dǎo)體制備重點實驗室”、山西省“微組裝工程技術(shù)研究中心”、山西省“微電子智能制造裝備創(chuàng)新中心”等的主建和依托單位。近年來，獲得國家、省部級獎項11項。

站在新的歷史起點，二所將以人工智能和半導(dǎo)體技術(shù)為核心，強化以軍為本、以民為主的創(chuàng)新鏈和以裝備為本、以應(yīng)用為主的產(chǎn)業(yè)鏈，實施智能制造、微電子、SiC和新能源產(chǎn)業(yè)躍升計劃，不斷提升核心競爭力和盈利能力，形成良好可持續(xù)的高質(zhì)量發(fā)展態(tài)勢。

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